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new 12.08.2015 09:19:26
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12.08.2015 13721
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Ionenquelle
Durch ein Laser wird ein Plasma erzeugt
Dadurch entstehende Ionen werden über ein elektrisches Feld beschleunigt
DE 112012003609 T5
ZUSAMMENFASSUNG
Es wird eine Ionenquelle zum Ausgeben eines Ionenstrahls mit hoher Reinheit von mehrwertigen positiven Ionen bereitgestellt Die Ionenquelle (10) weist ein Target (1
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