Verdampfer für Ionenquelle
Ion source vaporizer
https://www.google.de/patents/US6593580
2003 Nissin Electric Co., Ltd.
Beschreibt die Verdampfer-Einheit, die hauptsächlich zur Dotierung von Material verwendet wird
An ion source vaporizer comprises a hollow vaporizer main body, a heater, and a nozzle. The hollow vaporizer main body has an opening portion. The heater is installed outside the vaporizer main body and evaporates a solid sample within the vaporizer main body. The nozzle feeds a vapor produced within the vaporizer main body into an arc chamber. The ion source vaporizer further comprises a crucible for filling the solid sample which is provided within a cavity of the vaporizer main body, and a pressing unit for pressing a crucible bottom against a cavity bottom of the vaporizer main body. One end of the nozzle is screwed with an upper part of the crucible.
Deutsch:
Eine Ionenquelle Verdampfer umfasst einen hohlen Hauptkörper Verdampfer, einem Heizer und einer Düse. Der Hohl Verdampfer Hauptkörper einen Öffnungsabschnitt. Der Ofen außerhalb des Verdampfers Hauptkörpers installiert ist und verdampft eine feste Probe innerhalb des Verdampfers Hauptkörpers. Die Düse speist einen innerhalb des Verdampfers Hauptkörpers in eine Bogenkammer erzeugten Dampf. Die Ionenquelle Verdampfer ferner einen Tiegel zum Einfüllen des festen Probe, die in einem Hohlraum des Verdampfers Hauptkörpers vorgesehen ist, und eine Presseinheit zum Pressen eines Tiegelboden gegen einen Hohlraumboden des Verdampfers Hauptkörpers. Ein Ende der Düse ist mit einem oberen Teil des Schmelztiegels