Ionenquelle
Durch ein Laser wird ein Plasma erzeugt.
Dadurch entstehende Ionen werden über ein elektrisches Feld beschleunigt
DE 112012003609 T5
ZUSAMMENFASSUNG
Es wird eine Ionenquelle zum Ausgeben eines Ionenstrahls mit hoher Reinheit von mehrwertigen positiven Ionen bereitgestellt. Die Ionenquelle (10) weist ein Target (12), aus dem durch ein Plasma, das durch Einstrahlung eines Lasers (13) gebildet wird, Elektronen und positive Ionen erzeugt werden, eine erste Stromversorgungsquelle (erste Spannung E1), die ein elektrisches Potential des Targets (12) auf ein Potential einstellt, das höher ist als das eines Ziels der positiven Ionen (entsprechend einem Beschleunigungskanal (18) in 1), und eine zweite Stromversorgungsquelle (zweite Spannung E1), die ein elektrisches Potential auf einem Weg (entsprechend einer Filterelektrode (15) in 1) von dem Target (12) zu dem Ziel (18) auf ein elektrisches Potential einstellt, das höher ist als das des Targets (12), auf.
https://www.google.de/patents/DE112012003609T5
2011 Kabushiki Kaisha Toshiba
Ionenstrom in Mikrosekunden
